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双面抛光机
    • 双面抛光机


 

  设备简介:

  本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。


  设备特点:

  1.机身结构优化设计,机架采用龙门式结构,刚性好,承压能力强,能满足高负载下高速稳定运行。

  2.下盘、上盘和太阳轮分别由电机单独驱动,电机均采用变频电机且使用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,实现平稳的停止、加速、减速及换向,能有效的防止薄脆工件破碎。

  3.游星轮传动采用柱销齿结构,传动平稳无冲击,游星轮使用寿命长。柱销齿采用销套结构,销套用不锈钢材料经热处理加硬,防锈耐磨,柱销齿磨损后只需更换销套,方便简单,使用成本低。

  4.上盘下降过程中,设置了快降和缓降,缓降行程在气缸行程范围内可调,缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整。

  5.本机通过精密电气比例阀调整控制加工压力,可根据不同加工工艺要求,设定加工压力,压力控制精度高。

  6.采用先进的PLC系统,触摸屏操作面板,所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置,可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程。

  7.上盘升降设计安全装置,在上盘升到顶时能有效的保护上盘不突然落下。

  8.一体式,模块化设计理念:将原来三台减速机集成到一台主机内,提高了减速机的刚性,减速机模组和磨盘模组可各自装配好后再整体装配,提高了装配效率,使维护更加方便快捷。


  主要技术参数:

序号

项目

规格参数

1

上研磨盘尺寸

Ø1188×Ø360×50(mm)

2

下研磨盘尺寸

Ø1188×Ø360×50(mm)

3

游星轮参数

柱销齿   柱销直径Ø10  节距19.3    齿数52

4

游星轮数量

5

5

最大工件尺寸

Ø370(mm)

6

工件厚度

0.3-30(mm)

7

下研磨盘转速

0-50(rmp)

8

最大加工压力

600Kg

9

主气缸

160×500

10

主电机

 7.5Kw

11

上盘电机

 7.5Kw

12

副电机

 2.2Kw

13

设备总功率

18Kw

14

外形尺寸

1900×1480×2700(mm)

15

设备质量

≈4500Kg

 

  安装条件:

序号

项目

指标要求

1

环境

室内地面平坦、无振动源

2

水源

纯水或自来水

3

电源

三相五线 380V

4

压缩气源

0.6~0.8Mpa

5

温度

0℃-45℃

6

对湿度

≤95%

 

   主要配置:

序号

项目

品牌

1

气缸

亚德客

2

减速器

整体式变速箱

3

轴承

哈、瓦、洛

4

可编程控制器〔PLC〕

台达

5

人机界面

威能

6

精密电气比例阀

亚德客

7

电磁阀

亚德客

8

变频器

丹佛斯


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